◆SCCとは、いわゆる「精密機器および部品等特殊部品の表面汚染管理」を指します。 茨城シーアイシー研究所のSCC事業部では、精密機器やキャリアボックス等の表面汚染を最新設備の整ったSCC専用プラントで厳重な品質管理体制の元、精密洗浄致しております。

	Surface Contamination Control(表面汚染制御)のためのダウンフロー総流方式によるクリーンルーム内にて、ウェハートレー等を洗浄。 超純水洗浄の実施により、クリーンオープン処理し 、クリーンテーブル上で清浄包材によるクリーンパックを行います。

液中パーティクルカウンターによる評価を行います。

	基本の洗浄フローです。
	協議により、洗浄品にあわせた工程でも洗浄いたします。